$阿斯麦 (ASML.US)$ 在上个月的ITF会议上,半导体行业的大脑iMEC(比利时微电子研究中心)宣布了一项蓝图,...
在上个月的ITF会议上,半导体行业的大脑iMEC(比利时微电子研究中心)宣布了一项蓝图,即晶体管将在2025年之后进入安格斯特罗姆规模(A,Angstrom,1 angstrom = 0.1纳米),其中2025年对应于A14(14A =1.4纳米)。2027 年,它将是 A10(10A = 1nm),到 2029 年,它将是 A7(7A = 0.7nm)。
当时,IMEC表示,除了新的晶体管结构和2D材料外,关键环节是High NA(高数值孔径)EUV 光刻机。据该公司称,0.55NA的下一代EUV光刻机I(EXE:5000)将由ASML在2023年提供给IMEC,并将于2026年批量生产。
但是,ASML本月在接受媒体采访时似乎暗示了较早的时间表。第一台高数值的EUV光刻机将于2023年上市,并于2024-2025年供客户开发,并于2025年开始批量生产。
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