$阿斯麦 (ASML.US)$ 在上个月的ITF会议上，半导体行业的大脑iMEC（比利时微电子研究中心）宣布了一项蓝图，...

在上个月的ITF会议上，半导体行业的大脑iMEC（比利时微电子研究中心）宣布了一项蓝图，即晶体管将在2025年之后进入安格斯特罗姆规模（A，Angstrom，1 angstrom = 0.1纳米），其中2025年对应于A14（14A =1.4纳米）。2027 年，它将是 A10（10A = 1nm），到 2029 年，它将是 A7（7A = 0.7nm）。

当时，IMEC表示，除了新的晶体管结构和2D材料外，关键环节是High NA（高数值孔径）EUV 光刻机。据该公司称，0.55NA的下一代EUV光刻机I（EXE：5000）将由ASML在2023年提供给IMEC，并将于2026年批量生产。

但是，ASML本月在接受媒体采访时似乎暗示了较早的时间表。第一台高数值的EUV光刻机将于2023年上市，并于2024-2025年供客户开发，并于2025年开始批量生产。