$微美全息 (WIMI.US)$ 数字全息是一种基于光学原理的高分辨率成像技术，用于记录和分析有关目标物体的波前信息。通...

数字全息是一种基于光学原理的高分辨率成像技术，用于记录和分析有关目标物体的波前信息。通过利用深紫外激光照明和相位差分析，该技术能够准确检测高纵横比结构上小至几纳米的缺陷。与传统的缺陷检测方法相比，数字全息具有灵敏度更高、分辨率更好、检测无损等优点。半导体晶圆上的缺陷检测一直是半导体制造过程中不可或缺的一部分。随着半导体器件尺寸的不断缩小和工艺的复杂性，传统的缺陷检测方法正面临挑战。为了解决这个问题，WiMi的研发团队通过不懈的努力，成功地将数字全息技术引入了半导体晶圆的缺陷检测。