■事業概要
1. 事業セグメント
フェローテックホールディングス<6890>は多くの製品を自社開発・製造すると同時にM&Aによって多くの企業を子会社化してきたことから、事業内容は多岐にわたっている。現在のセグメントは半導体等装置関連(2024年3月期売上高比率58.5%)、電子デバイス(同30.4%)、その他(同11.1%)に分かれる。
2. 半導体等装置関連
このセグメントは、さらに真空シール・金属加工、石英製品、シリコンパーツ、セラミックス、CVD-SiC、EBガン・LED蒸着装置、ウエーハ加工、再生ウエーハ、装置部品洗浄、石英坩堝のサブセグメントに分かれる。
(1) 真空シール・金属加工(2024年3月期対総売上高比率11.3%)
磁性流体を利用して、真空雰囲気内への回転導入機としての役割を担う部品で、半導体・FPD・LED・太陽電池等の製造工程で利用されている。同社の核となる製品で、主に半導体ウエーハのエッチングや成膜工程、FPDのパネル搬送用ロボットの回転機構部などに導入され、密閉空間を外部から隔離しつつ加工に必要な動力を正確に伝えることを可能にしている。
(2) 石英製品(同12.7%)、シリコンパーツ(同6.6%)
石英製品は熱と化学変化に強い超高純度のシリカガラスからなり、ウエーハの成膜生成や拡散プロセスなどで使われるほか、搬送や洗浄工程で治具、消耗品として使われており、微細化・高純度化が進む半導体製造プロセスのなかで重要な役割を担っている。シリコンパーツ(ポート、インジェクター、フォーカスリング等)は、加工して主に半導体製造工程等で使われる。
(3) セラミックス(同10.9%)
同社が持つ素材技術、生産技術、精密加工技術を生かして様々なセラミックス製品を提供している。セラミックス製品は高強度・高純度・高耐熱性に優れたファインセラミックス(FC)製品と高度な機械加工が可能なマシナブルセラミックス(MC)製品に分けられる。前者は主に半導体製造装置用の部品として使われているが、特にドライエッチング方式(プラズマエッチャー)では不可欠な部品となっている。後者は様々な加工を施すことで各種部品や治具として利用されるが、特に半導体の検査工程での治具(ウエーハプロバー用)として需要が高まっている。また近年では、その精密加工特性を生かして高度な医療用機器での利用も進んでいる。
(4) CVD-SiC(同3.1%)
独自のCVD方式による炭化ケイ素(SiC)製品で、超高純度・高耐熱性・高対摩耗性・耐腐食性といった特性を備えている。半導体製造工程で用いられるウエーハボートやチューブ、シリコンウエーハの代替となるダミーウエーハなど、主に高温で使用される治具として幅広く活用されている。
(5) EBガン・LED蒸着装置(同2.7%)
EB(Electron Beam)ガンとは電子銃のことで、高機能なEBガンと高圧電源を心臓部とした米国製Temescal装置(精密蒸着装置)によって基盤などに薄膜を形成する。同社は大学や研究所向けの小規模生産用タイプから、大規模生産用高スループットタイプまで幅広い製品群を揃えている。次世代通信などで利用が見込まれる化合物半導体での世界標準機として数多くの顧客に使用されており、現在ではLEDや通信チッププロセス等の導入が進んでいる。
(6) ウエーハ加工+再生ウエーハ(同0.9%)
ウエーハ加工はシリコンウエーハ(集績回路の基盤材料)の製造である。また2022年3月期より、中国半導体国産化の加速による需要の急増を受けて、新たに再生ウエーハ事業を立ち上げた。再生ウエーハとは、設備の確認やテストで使用したダミーウエーハを研磨加工することで繰り返し使えるようにしたウエーハのことである。半導体の生産が高まると、それに伴い再生ウエーハの需要も高まる。
(7) 装置部品洗浄(同5.3%)
半導体製造装置用部品の洗浄作業を行う。
(8) 石英坩堝(同5.1%)
同社の石英坩堝は、半導体製造工程に不可欠な石英製品と同等の高純度の原料を使用し、単結晶シリコンの原料を充填する容器として使用されている。半導体用、太陽電池用などの単結晶シリコンを製造するメーカーが主な顧客である。今後は、太陽光発電向け大口径シリコン製造用の比率を高めることで売上高を伸ばす方針である。
(執筆:フィスコ客員アナリスト 寺島 昇)
■业务概要
1. 业务部门
由于Ferrotec Holdings <6890>自主开发、制造了多种产品,并通过并购将许多企业置于子公司化的状态,因此公司的业务范围涉及多个领域。目前的业务分为半导体等设备相关(2024年3月期营收占比58.5%)、电子器件(同30.4%)和其他(同11.1%)三部分
2. 半导体等装置相关
该领域又包括真空密封、金属加工、石英产品、硅材料部件、陶瓷、CVD-SiC、电子束光阴极、LED蒸发设备、片加工、回收片、设备部件清洗和石英坩埚子领域
(1)真空密封和金属加工(2024年3月期对总销售额的比例为11.3%)
真空密封和金属加工是一种利用磁性流体,在真空状态下起到旋转导入作用的零件。它们在半导体、FPD、LED和太阳电池等制造工艺中使用。这是该公司的核心产品之一,主要用于半导体晶片的刻蚀或沉积过程、FPD面板运输机器人的旋转机构等,能够在隔离封闭空间的同时精确地传递加工所必需的动力
(2)石英产品(12.7%)、硅材料部件(6.6%)
石英产品由具有超高纯度的硅氧化物玻璃制成,具有抗热和化学变化等特点,用于晶片膜成型和扩散工艺,并用于输送和清洗工艺作为夹具和消耗品。在半导体制造过程中,精密陶瓷(FC)产品作为主要零部件使用,特别是在干法蚀刻方式(等离子刻蚀)中不可缺少。硅材料部件(如端口、喷嘴、焦距环等)经过加工后主要用于半导体制造工艺等
(3)陶瓷(10.9%)
该公司利用其持有的材料技术,生产技术和精密加工技术提供各种陶瓷产品。陶瓷产品分为具有高强度、高纯度和耐高温性的精细陶瓷(FC)产品和可进行高精度机械加工的可编程陶瓷(MC)产品。前者主要用作半导体制造设备的零件,但在干法蚀刻过程(等离子刻蚀)中特别必要。后者经过各种加工可用作各种部件和夹具,但在半导体检验工艺中(用于硅片探针)特别需求高。此外,近年来,由于其精密加工特性,也用于高端医疗器械制造
(4)CVD-SiC(3.1%)
该公司利用其独特的CVD技术生产的炭化硅(SiC)产品具有超高纯度、高耐热性、高耐磨性、耐腐蚀等特性。它用作半导体制造工艺中的晶圆舟或管道,也用作代替硅晶圆的空晶圆等,主要在高温下用作零件夹具
(5)电子束光阴极(EB)和LED蒸发设备(2.7%)
EB(电子束)枪是一种电子枪,可通过由高功能的EB枪和由高压电源构成的美国Temescal设备(精密蒸发设备)在电路板等上形成薄膜。该公司提供从面向大学和研究机构的小型生产型号到大型生产型号的各种产品。该公司目前将其用于化合物半导体在下一代通信等领域的使用一直处于行业标准的水平,LED和通信芯片的生产也在加速
(6)晶片加工+回收晶片(0.9%)
硅晶圆(集成电路板的基材)的制造称为硅晶片加工。此外,针对中国半导体的本土化促进,该公司于2022年启动了回收硅晶片的业务。再生硅晶片是指将用于设备确认和测试的空晶片经研磨处理后能够重复使用的晶片。随着半导体生产的增加,再生晶片的需求也在增加
(7) 进行装置元件清洗(同5.3%)
执行半导体制造设备用元件的清洗工作。
(8) 石英坩堝(同5.1%)
该公司的石英坩堝使用高纯度的石英原材料,用作充装单晶硅片原料的容器,其等级与半导体制造中不可或缺的石英制品相同。其主要客户是制造单晶硅片用于半导体和太阳能电池的制造商。今后的方针是提高销售收入,通过增加太阳能发电用大尺寸深宽比单晶硅片的比例。
(作者:日经FISCO客座分析师 寺岛昇)