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颀中科技获得发明专利授权:“晶圆表面介电层的制备方法、晶圆结构及凸块的成型方法”

证券之星 ·  07/17 14:25

证券之星消息,根据企查查数据显示颀中科技(688352)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆表面介电层的制备方法、晶圆结构及凸块的成型方法”,专利申请号为CN202110735094.7,授权日为2024年7月16日。

专利摘要:本发明公开了一种晶圆表面介电层的制备方法、晶圆结构及凸块的成型方法,所述制备方法包括如下步骤:提供晶圆;在晶圆的上表面形成对位标记,其中,对位标记为厚度不低于0.3μm的金属块;在形成对位标记后的晶圆的上表面形成一介电层。与现有技术相比,本申请优化了晶圆介电层的制备工艺,在晶圆表面成型出介电层之前,预先在晶圆表面制备出对位标记。由于对位标记的厚度达0.3μm以上,具有较好的突出可见性,其在晶圆的后续工艺中能够很好的被识别并被用于定位,有利于后续工艺的展开;有效避免了在介电层制备阶段,因对位标记不可见而需返工的问题,保障了制程工艺的连续性,提高了生产效率,也节省了返工的人力物力成本。

今年以来颀中科技新获得专利授权10个,较去年同期增加了11.11%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了1.06亿元,同比增6.39%。

数据来源:企查查

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