share_log

拓荆科技获得实用新型专利授权:“一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置”

证券之星 ·  08/22 14:15

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置”,专利申请号为CN202322861841.9,授权日为2024年8月23日。

专利摘要:本实用新型公开了一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置。显示系统包括:支撑结构,设置于盖板的上方,包括若干个图像采集装置,其中,所述图像采集装置经由所述盖板上的观察窗,获取所述观察窗下方的晶圆托盘与边缘环之间的边缘图像,所述边缘图像指示所述晶圆托盘到所述边缘环的相对位置;以及显示装置,连接所述若干个图像采集装置,用以放大显示所述边缘图像。通过上述托盘位置的显示系统,能够清晰地显示晶圆托盘在反应腔内的位置,从而有利于后续对晶圆托盘进行精确的位置调节,提高晶圆托盘的位置调节效率和精密性。

今年以来拓荆科技新获得专利授权22个,较去年同期减少了57.69%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了5.76亿元,同比增52.07%。

数据来源:天眼查APP

以上内容由证券之星根据公开信息整理,由算法生成(网信算备310104345710301240019号),与本站立场无关,如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理,不对您构成任何投资建议,投资有风险,请谨慎决策。

声明:本内容仅用作提供资讯及教育之目的,不构成对任何特定投资或投资策略的推荐或认可。 更多信息
    抢沙发