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次世代3次元デバイスの原子レベルでの等方性加工に対応したDCRエッチング装置「9060シリーズ」を発売

推出了能够满足下一代三维设备原子级等向加工需求的DCR蚀刻设备"9060系列"。

日立 ·  11/26 23:00
  • 发布了支持次世代三维设备的原子级各向同性加工的DCR蚀刻装置“9060系列”
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