董监高集中竞价减持股份结果公告
关于2022年限制性股票激励计划第二个归属期及2023年限制性股票激励计划第一个归属期归属结果暨股份上市的公告
关于公司2023年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的公告
监事会关于2023年限制性股票激励计划第一个归属期归属名单的核查意见
上海市锦天城律师事务所关于2023年激励第一个归属期符合归属条件、部分作废暨调整2020、2022、2023、2024年授予价格相关事项之法律意见书
上海荣正企业咨询服务(集团)股份有限公司关于中微半导体设备(上海)股份有限公司2023年限制性股票激励计划第一个归属期归属条件成就之独立财务顾问报告
第二届董事会第二十四次会议决议公告
关于调整公司2020年、2022年、2023年及2024年限制性股票激励计划相关事项及作废处理部分限制性股票的公告
第二届监事会第二十一次会议决议公告
2023年年度权益分派实施公告
海通证券股份有限公司关于中微半导体设备(上海)股份有限公司差异化分红事项的核查意见
董监高集中竞价减持股份计划公告
关于召开2024年第一季度业绩说明会的公告
关于股份回购实施结果的公告
关于调整 2023 年年度利润分配现金分红总额的公告
关于调整公司2024年限制性股票激励计划相关事项的公告
关于向2024年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票的公告
上海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备(上海)股份有限公司向2024年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票之法律意见书
2024年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单(截至授予日)
监事会关于2024年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的核查意见
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