$微美全息 (WIMI.US)$ 數位全息圖是基於光學原理的高解析度成像技術，可記錄和分析有關目標物體的波前信息。通過利...

數位全息圖是基於光學原理的高解析度成像技術，可記錄和分析有關目標物體的波前信息。通過利用深度紫外線激光照明和相差分析，該技術能夠在高寬比的結構上準確檢測小到幾奈米的缺陷。與傳統缺陷檢測方法相比，數字全息圖具有更高的靈敏度，更好的解析度和非破壞性測試的優勢。半導體晶圓上的瑕疵偵測一直是半導體製造過程中不可或缺的一部分。隨著半導體元件的尺寸不斷縮小和製程複雜，傳統缺陷檢測方法正面臨挑戰。為了解決這個問題，WiMi 的研發團隊通過他們不懈的努力成功將數字全息化引入半導體晶片的缺陷檢測中。