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數位全息圖是基於光學原理的高解析度成像技術,可記錄和分析有關目標物體的波前信息。通過利用深度紫外線激光照明和相差分析,該技術能夠在高寬比的結構上準確檢測小到幾奈米的缺陷。與傳統缺陷檢測方法相比,數字全息圖具有靈敏度更高的優點,具有...
數位全息圖是基於光學原理的高解析度成像技術,可記錄和分析有關目標物體的波前信息。通過利用深度紫外線激光照明和相差分析,該技術能夠在高寬比的結構上準確檢測小到幾奈米的缺陷。與傳統缺陷檢測方法相比,數字全息圖具有靈敏度更高的優點,具有...
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