本期归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为1.86亿元，较上年同期的0.11亿元增加1.75亿元，同比增长1,578.18%，主要系本期营业收入较上年同期增加3.46亿元，同时本期毛利率从去年的40.92%增长至45.47%，增加4.55个百分点，本期毛利较上年同期增加约1.85亿元。【TechWeb】4月28日消息，中微公司發佈了2022年第一季度報告，報告中顯示，本期營業收入9.49億元，較上年同期增加約3.46億元，同比增長57.31%，主要系：
受益於半導體設備市場發展及公司產品競爭優勢，本報告期刻蝕設備收入為7.14億元，較上年同期增長約105.03%；
由於公司新簽署的Mini LED MOCVD設備規模訂單在本期尚未確認收入，MOCVD設備本期收入為0.42億元，較上年同期下降約68.59%。
本期歸屬於上市公司股東的扣除非經常性損益的淨利潤為1.86億元，較上年同期的0.11億元增加1.75億元，同比增長1,578.18%，主要系本期營業收入較上年同期增加3.46億元，同時本期毛利率從去年的40.92%增長至45.47%，增加4.55個百分點，本期毛利較上年同期增加約1.85億元。
本期歸屬於上市公司股東的淨利潤為1.17億元，較上年同期減少約0.21億元，下降約14.94%，主要系本期收入和毛利增長下扣除非經常性損益的淨利潤較上年同期增加1.75億元，但本期非經常性損益較上年同期減少約1.96億元。
非經常性損益的變動主要包括：
本期計入當期損益的政府補助收益為0.04億元，較上年同期的1.69億元減少約1.65億元；
由於公司持有的中芯國際和天嶽先進的股票價格在本期有較大下降，公司本期產生相關的公允價值變動損失1.01億元，而上年同期公司股權投資為損失0.24億元，該因素導致本期利潤較上年同期減少約0.77億元。
