格隆匯1月18日丨精測電子(300567.SZ)於近期接受特定對象調研,就“上海精測各類型產品研發及交付情況如何?”,公司回覆稱,公司子公司上海精測主要聚焦半導體前道檢測設備領域,致力於半導體前道量測檢測設備的研發及生產,設備應用於硅片加工、晶圓製造、科研實驗室、第三代半導體四大領域。
上海精測膜厚系列產品、OCD設備、電子束設備已取得國內多家客戶的批量訂單,且上述產品均已取得先進製程訂單,公司先進製程產品訂單已實現部分交貨且取得重複訂單;半導體硅片應力測量設備也取得客戶重複訂單;明場光學缺陷檢測設備已完成首臺套交付,且已取得更先進製程訂單;有圖形暗場缺陷檢測設備等其餘儲備的產品目前正處於研發、認證以及拓展的過程中。