华海清科(688120.SH)发布公告，近日，公司和清华大学共同完成的“集成电路化...
智通财经APP讯，华海清科(688120.SH)发布公告，近日，公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，公司董事长、首席科学家路新春先生作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。
化学机械抛光(CMP)是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺，公司以清华大学科技成果转化的CMP技术成果为基础，进行CMP装备产业化应用的核心技术研发，率先推出国内首台拥有自主知识产权12英寸CMP装备，实现了国内市场CMP装备领域的国产替代。公司持续加大自主研发力度，推出多款CMP商业化机型，并依托稳定的性能和良好的售后服务优势，批量进入行业知名芯片制造企业，国内市场占有率达到较高水平。
国家技术发明奖是我国在科学技术领域的最高奖项之一。本次获奖，即是对公司核心研发团队在CMP领域技术创新成果的充分肯定，也是对公司长期推动CMP装备国产化的高度褒奖。
華海清科(688120.SH)發佈公告，近日，公司和清華大學共同完成的“集成電路化...
智通財經APP訊，華海清科(688120.SH)發佈公告，近日，公司和清華大學共同完成的“集成電路化學機械拋光關鍵技術與裝備”項目榮獲2023年度國家技術發明獎一等獎，公司董事長、首席科學家路新春先生作爲項目第一完成人獲得2023年度國家技術發明獎一等獎證書。
化學機械拋光(CMP)是先進集成電路製造前道工序、先進封裝等環節必需的關鍵製程工藝，公司以清華大學科技成果轉化的CMP技術成果爲基礎，進行CMP裝備產業化應用的核心技術研發，率先推出國內首臺擁有自主知識產權12英寸CMP裝備，實現了國內市場CMP裝備領域的國產替代。公司持續加大自主研發力度，推出多款CMP商業化機型，並依託穩定的性能和良好的售後服務優勢，批量進入行業知名芯片製造企業，國內市場佔有率達到較高水平。
國家技術發明獎是我國在科學技術領域的最高獎項之一。本次獲獎，即是對公司核心研發團隊在CMP領域技術創新成果的充分肯定，也是對公司長期推動CMP裝備國產化的高度褒獎。
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