数据来源：企查查證券之星消息，根據企查查數據顯示中微公司（688012）新獲得一項實用新型專利授權，專利名爲“用於支撐基片托盤的支撐組件及外延層生長設備”，專利申請號爲CN202323066334.2，授權日爲2024年7月9日。
專利摘要：本實用新型公開了一種用於支撐基片托盤的支撐組件及外延層生長設備，其中，用於支撐基片托盤的支撐組件，包括：旋轉軸；至少三個支臂，每個所述支臂的一端與所述旋轉軸的頂部連接，另一端用於支撐基片托盤；透光盤，其設置在所述旋轉軸的頂部，且與各所述支臂連接，其包括中心區域和包圍中心區域的外圍區域；導氣部，其貫穿所述透光盤的中心區域的厚度設置；當對所述基片托盤測溫時，測溫光束穿過所述透光盤的外圍區域照射至所述基片托盤的底部。本實用新型通過在旋轉軸上設置透光盤，使得測溫光束始終穿過該透光盤測量基片托盤底部溫度，保證了測溫數據的一致性；同時通過設置導氣部，減少了沉積物的生成，進一步實現基片托盤溫度的精準控制。
今年以來中微公司新獲得專利授權84個，較去年同期增加了13.51%。結合公司2023年年報財務數據，2023年公司在研發方面投入了8.17億元，同比增34.91%。
數據來源：企查查
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