近日，上海交通大學安泰學院EMBA 2024級全國班師生參訪了芯源微（688037.SH）上海臨港廠區。上海芯源微董事長崔曉微向全體師生作主題分享，並就產業發展前景、企業經營管理心得、潛在合作機會挖掘等內容進行了互動交流。
資料顯示，芯源微主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，目前已形成前道塗膠顯影設備、前道清洗設備、後道先進封裝設備、化合物等小尺寸設備四大業務板塊，產品完整覆蓋前道晶圓加工、後道先進封裝、化合物半導體等多個領域。
芯源微日前在互動平台上表示，公司化學清洗機具有高工藝覆蓋性、高穩定性、高潔淨度、高產能等多項核心優勢，自產品發佈以來，已受到下游客戶廣泛關注。2023年第四季度，公司化學清洗機獲國內重要客戶驗證性訂單，2024年上半年，化學清洗機拓客進展順利。
上海芯源微基於在溼法領域的深厚積累，從單片式物理清洗領域切入單片化學清洗領域。據介紹，單片式化學清洗機應用於半導體溼法工藝，是芯片製造過程中的關鍵環節，主要用於晶圓表面污染物的去除或特殊表面處理，對實現最終芯片產品的高良率和可靠性至關重要。
此前，上海芯源微打造的高端產品單片式化學清洗機已經正式發佈入市，並已獲多個國內大客戶訂單，該設備適用於薄膜前後的清洗、幹法蝕刻後清洗、離子注入灰化後清洗、CMP後清洗等多種清洗工藝，工藝覆蓋率可以達到80%以上，同時瞄準客戶卡脖子問題，將高溫SPM作爲重點研發工藝，致力於實現局部超越。
另據介紹，目前，在集成電路前道晶圓加工領域，芯源微主要產品爲前道塗膠顯影機、前道物理清洗機。
塗膠顯影設備是與光刻機聯機工作的核心工藝設備，芯源微是國內唯一可提供前道量產型塗膠顯影設備的廠商，芯源微物理清洗機也保持着行業龍頭地位。
分析人士認爲，芯源微前道化學清洗機的推出，標誌着公司從前道物理清洗領域成功跨入到技術含量更高、市場空間更大的前道化學清洗領域，將公司前道產品（塗膠顯影+清洗）的國內市場空間由百億級大幅提升至兩百億級，有望打開公司在前道清洗領域的成長空間。
數據顯示，2023年芯源微實現收入17.17億元，同比增長23.98%；歸母淨利潤2.51億元，同比增長25.21%。最近四年，公司經營業績保持快速增長，營業收入、歸母淨利潤年均複合增速均超過70%。