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台积电:仍在评估High-NA EUV 采用时间未定

台積電:仍在評估High-NA EUV 採用時間未定

格隆匯 ·  07/30 02:39

格隆匯7月30日|台積電海外營運資深副總經理暨副共同營運長張曉強表示,仍在評估High-NA EUV應用於未來製程節點的成本效益與可擴展性,目前採用時間未定。A16製程將於2026年下半年量產,可能不會採用high-NA EUV設備。

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