证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“监控波像差的方法”，专利申请号为CN202410806461.1，授权日为2024年8月30日。
专利摘要：本发明提供了一种监控波像差的方法，通过收集测试掩膜对应的曝光后的CD值及CD偏差来获得波像差补偿值，并将获得的波像差补偿值反馈给成像系统进行修正，而采用的测试掩膜包括多个掩膜图形，每个掩膜图形包括多个掩膜子图形，每个掩膜子图形包括多个横向图形和多个纵向图形，多个横向图形和多个纵向图形均呈环状阵列分布。由于每个掩膜子图形中的多个横向图形和多个纵向图形均呈环状阵列分布，因此本发明能从多个角度监控波像差差异，并反馈给成像系统进行修正，可以获得理想的波前成像。
今年以来晶合集成新获得专利授权216个，较去年同期增加了64.89%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。
数据来源：天眼查APP
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證券之星消息，根據天眼查APP數據顯示晶合集成（688249）新獲得一項發明專利授權，專利名爲「監控波像差的方法」，專利申請號爲CN202410806461.1，授權日爲2024年8月30日。
專利摘要：本發明提供了一種監控波像差的方法，通過收集測試掩膜對應的曝光後的CD值及CD偏差來獲得波像差補償值，並將獲得的波像差補償值反饋給成像系統進行修正，而採用的測試掩膜包括多個掩膜圖形，每個掩膜圖形包括多個掩膜子圖形，每個掩膜子圖形包括多個橫向圖形和多個縱向圖形，多個橫向圖形和多個縱向圖形均呈環狀陣列分佈。由於每個掩膜子圖形中的多個橫向圖形和多個縱向圖形均呈環狀陣列分佈，因此本發明能從多個角度監控波像差差異，並反饋給成像系統進行修正，可以獲得理想的波前成像。
今年以來晶合集成新獲得專利授權216個，較去年同期增加了64.89%。結合公司2024年中報財務數據，今年上半年公司在研發方面投入了6.14億元，同比增22.27%。
數據來源：天眼查APP
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