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次世代3次元デバイスの原子レベルでの等方性加工に対応したDCRエッチング装置「9060シリーズ」を発売

推出了能夠滿足下一代三維設備原子級等向加工需求的DCR蝕刻設備"9060系列"。

日立 ·  2024/11/26 23:00
  • 發佈了支持次世代三維設備的原子級各向同性加工的DCR蝕刻裝置「9060系列」
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