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盛美上海:等离子体增强原子层沉积炉管设备通过初步验证

盛美上海:等離子體增強原子層沉積爐管設備通過初步驗證

格隆匯 ·  12/11 08:15

格隆匯12月11日|盛美半導體設備(上海)股份有限公司今日在官微宣佈,其2024年推出的Ultra Fn A等離子增強型原子層沉積爐管設備(PEALD)已初步通過中國大陸一家半導體客戶的工藝驗證,正在進行最後優化和爲邁入量產做準備。盛美上海還宣佈,其於2022年推出的Ultra Fn A熱原子層沉積爐設備(Thermal ALD)也已成功通過另一家領先的中國大陸客戶的工藝驗證,性能參數比肩同類國際競品,甚至更勝一籌。

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