证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“喷淋头组件及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202420789767.6，授权日为2025年1月7日。
专利摘要：本实用新型提供一种喷淋头组件及等离子体处理设备。所述喷淋头组件包括：导气板，其中开设有第一气体通道和两个或以上数量的第二气体通道，多个所述第二气体通道围绕所述第一气体通道设置；喷淋板，其位于所述导气板下方并与所述导气板机械连接，所述导气板与所述喷淋板之间形成匀气腔；第一进气管，连通所述第一气体通道和反应气体源；两个或以上数量的第二进气管，每一第二进气管连通一个所述第二气体通道和远程等离子体源。本实用新型对反应腔的中部和边缘都能进行充分清洗，提高清洁效率，降低成本。
今年以来中微公司新获得专利授权9个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
證券之星消息，根據天眼查APP數據顯示中微公司（688012）新獲得一項實用新型專利授權，專利名爲「噴淋頭組件及等離子體處理設備」，專利申請號爲CN202420789767.6，授權日爲2025年1月7日。
專利摘要：本實用新型提供一種噴淋頭組件及等離子體處理設備。所述噴淋頭組件包括：導氣板，其中開設有第一氣體通道和兩個或以上數量的第二氣體通道，多個所述第二氣體通道圍繞所述第一氣體通道設置；噴淋板，其位於所述導氣板下方並與所述導氣板機械連接，所述導氣板與所述噴淋板之間形成勻氣腔；第一進氣管，連通所述第一氣體通道和反應氣體源；兩個或以上數量的第二進氣管，每一第二進氣管連通一個所述第二氣體通道和遠程等離子體源。本實用新型對反應腔的中部和邊緣都能進行充分清洗，提高清潔效率，降低成本。
今年以來中微公司新獲得專利授權9個。結合公司2024年中報財務數據，2024上半年公司在研發方面投入了5.68億元，同比增94.58%。
數據來源：天眼查APP
以上內容爲證券之星據公開信息整理，由智能算法生成（網信算備310104345710301240019號），不構成投資建議。
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