公司成立於2010年4月,是國家高新技術企業,主要從事半導體專用設備的研發、生產、銷售與技術服務。公司在北京、上海、海寧、瀋陽、美國成立子公司。公司主要從事高端半導體專用設備的研發、生產、銷售及技術服務。主要產品:PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深寬比溝槽填充CVD等薄膜設備產品。企業榮譽:2017中國半導體設備五強企業、2017遼寧省科學技術獎勵證書等。
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