公司成立於2005年,是上海市政府科教興市項目重點引進的集成電路裝備企業,是具備世界先進技術的半導體設備製造商。公司主要從事對集成電路製造行業至關重要的半導體清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備、塗膠顯影Track設備、等離子體增強化學氣相沉積PECVD設備、無應力拋光設備、後道先進封裝設備以及硅材料襯底製造工藝設備等的開發、製造和銷售,並致力於爲半導體制造商提供定製化、高性能、低消耗的工藝解決方案,有效提升客戶多個步驟的生產效率、產品良率,並降低生產成本。公司經過多年持續的研發投入和技術積累,先後開發了前道半導體工藝設備,包括清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備、塗膠顯影Track設備、等離子體增強化學氣相沉積PECVD設備、無應力拋光設備;後道先進封裝工藝設備以及硅材料襯底製造工藝設備等。公司連續多年被評爲“中國半導體設備五強企業”,入選首批上海市科學技術委員會頒發的“上海市集成電路先進溼法工藝設備重點實驗室”。獲得2021年度上海集成電路企業半導體設備業銷售前五名。公司前道銅互連電鍍設備榮獲第五屆“IC創新獎-成果產業化獎”。此外,盛美被評爲上海市“專精特新”企業。被認定爲國家級“專精特新小巨人企業”、上海市企業技術中心;榮獲浦東新區川沙新鎮人民政府“2022年度公益慈善獎”等榮譽。
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