$ASMLホールディング (ASML.US)$ 先月のITF会議では、半導体業界における脳とも言えるIMEC（ベルギー・...

先月のITF会議では、半導体業界における脳とも言えるIMEC（ベルギー・マイクロエレクトロニクス研究センター）が、トランジスタが2025年以降アングストロームスケール（A, アングストローム, 1アングストローム=0.1ナノメートル）に入ることを発表しました。2025年はA14（14A = 1.4ナノメートル）に相当し、2027年にはA10（10A = 1nm）、2029年にはA7（7A = 0.7nm）になります。

当時、IMECは新しいトランジスタ構造と2D材料に加えて、高数値絞り（High numerical aperture）EUVリソグラフィー機が重要なリンクであると述べました。0.55NA次世代EUVリソグラフィー機I（EXE：5000）は、ASMLからIMECに2023年に供給され、2026年に量産される予定です。

しかし、今月、ASMLはメディアに対して早期のスケジュールを示唆するような発言をしました。最初の高数値絞りEUVリソグラフィー機は、2023年にアクセスが可能になり、2024年から2025年にかけて顧客開発が開始され、2025年に量産が始まる予定です。