$ウィミ･ホログラム･クラウド (WIMI.US)$デジタルホログラフィーは、対象物に関する波面情報を記録し、解析する光...

デジタルホログラフィは、光学原理に基づいた高解像度イメージング技術であり、対象物に関する波面情報を記録・解析するものです。深紫外レーザーの照明および位相差解析を利用することにより、高アスペクト比構造体上の数ナノメートル程度の欠陥を正確に検出できます。従来の欠陥検出方法と比較して、デジタルホログラフィは感度が高く、解像度も高く、非破壊検査が可能です。半導体ウエハ上の欠陥検出は、常に半導体製造プロセスの重要な一部であり続けてきました。半導体デバイスのサイズが縮小してプロセスの複雑さが増すにつれて、従来の欠陥検出方法は課題に直面しています。WiMiの研究開発チームは、この問題に対処するため、デジタルホログラフィを熱心な努力によりウエハの欠陥検査に導入することに成功しました。