半導体ウエハー上にナノ（10億分の１）メートルレベルの電子回路パターンを形成する「露光装置」は“人類史上最も精密な機械”とされており、製造工程の心臓部でもある。もともとは日本勢が世界シェアを占めていたが、収益性の高い最先端半導体向けの装置開発で後れを取り、現在ではオランダ $ASMLホールディング (ASML.US)$の独り勝ち状態となっている。ASMLの極端紫外線（EUV）を使った最先端向け装置は1台200億円から500億円とされる。一方、日本勢が主な市場とする非先端向け装置は、1台数億円から数十億円だ。しかし、ここにきて革命的な新技術や逆張り戦略で巻き返しを図る兆候も見えてきた。
現在、露光装置の世界シェアはASMLと日本のキヤノン、ニコンの３社でほぼ独占している。三菱ＵＦＪモルガン・スタンレー証券によると22年の露光装置販売台数では、首位のASMLの世界シェアが62%、2位のキヤノンが31%、ニコンは3位の7%となっている。（日本経済新聞23年11月7...