アトランタ、 2023年6月5日 /PRNewswire/ — クラスワン・イクイップメント（classoneequipment.com）は、最先端のEUVチップ製造用の計測機器の世界的リーダーであるEUV Techに、高度な新しいタカノWM-10粒子測定システムを提供すると発表しました。この発表は、クラスワンの機器担当副社長が行いました。 デヴィッド・ポーラック、そしてEUVテックの研究開発担当副社長、 マット・ヘッターマン。
Hettermann氏は次のように述べています。「新しい300mm Takano WM-10システムを選んだ主な要因は、非常に感度の高い粒子検出でした。私たちにとって、粒子感度は重要です。なぜなら、私たちが製造する機器の清浄度を検証するために、タカノの新しいツールを使っているからです。これらは業界で最も先進的なEUVおよび軟X線システムです。」
「私たちの工場では、新しいWM-10を稼働させています マルティネス、カリフォルニア州、」ヘッターマンは追加しました。「そして、48nmまでの粒子を定期的に検出するという、その優れた性能はすでにわかっています。さらに、300mmウェーハだけでなく、200mmと150mmも処理するように構成されています。」
Pawlakは、Takanoブランドの粒子検出システムは、ClassOne Equipmentの製品ラインナップの中で最も売れている新しいツールの1つだと指摘しました。Takanoの機器は、クラス最高の検出感度に加えて、高いスループット、再現性、信頼性に加えて、さまざまなオプションを備えています。そして非常に重要なのは、システムが魅力的な価格ですぐに利用できるということです。これらは、タカノが長年にわたってウェーハ粒子検出の業界の「標準」であった従来のサーフスキャンシステムに代わる新技術として選ばれるようになった理由のいくつかでもあります。
ClassOne Equipmentは、タカノブランドの粒子検出システムの販売、サービス、および完全なサポートを幅広く提供する独占的な情報源です 北アメリカ そして ヨーロッパ。ClassOneは、Takanoシステムへの設置、PM、その他すべてのサービスを提供するために、特別な訓練を受けたフィールドエンジニアのチームを編成しています。
クラスワン・イクイップメントは、まったく新しいタカノのシステムに加えて、これまで所有していた半導体機器を幅広く取り揃えています。その中には、全面改装され、文字通り新品よりも優れたツールも多数あります。同社はまた、何千もの最高品質のOEM部品のほか、機器サービス、サポート、保証、資金調達などを提供しています。すべてはclassoneequipment.comで見ることができます。さらに詳しい情報については、問い合わせてください [電子メールが保護されました]。
クラスワン機器について
に本社を置く ジョージア州アトランタ、ClassOne Equipment（classoneequipment.com）は、古くから所有および専門的に改装された有名ブランドの半導体処理装置を提供する業界有数のプロバイダーとして知られてきました。新品同様の性能を、新しい工具の数分の1のコストで実現します。さらに、ClassOneは現在、まったく新しい高性能ウェーハ粒子検査システムのTakanoラインを販売し、全面的にサポートしています。ClassOne Equipmentは、ツールだけでなく、スペアパーツ、設置、サービス、サポート、保証、資金調達などを含む幅広いターンキーソリューションを提供しています。
EUVテックについて
1997年に設立され、本社は マルティネス、カリフォルニア州、EUVテック（euvtech.com）は、波長EUV計測ツールの製造における世界的リーダーです。同社は、半導体製造と材料科学のフロンティアを前進させるために、極紫外線と軟X線技術を使用した最先端のソリューションを提供しています。同社は、EUVリソグラフィーを使用して大量生産を可能にするマスク測定装置を開発・製造しています。彼らのシステムには、EUV反射率計、EUVペリクルツール、EUV位相計測ツール、EUVマスクイメージングツールが含まれます。
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クラスワンの機器
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ソース:クラスワン機器