For more information on the event, or to register, visit the conference website at .アクセリステクノロジーズ株式会社（NASDAQ：ACLS）は、半導体業界向けのイオン注入ソリューションを提供する主要なプラチナスポンサーとして、2024年9月23日から26日まで日本の富山国際会議センターで開催されるイオン注入技術2024（IIt 2024）国際会議でトップレベルのプラチナスポンサーになります。IIt 2024は、現在のイオン注入/ドーピングおよび焼成プロセス、デバイスアプリケーション、装置、メトロロジー、モデリングに関連する主要な課題に焦点を当てた、2年に1度のシリーズで行われる24回目のカンファレンスです。
イベントでは、アクセリスは企業展示を行い、同社の技術者と協力会社が9つのトピックで発表します。
- パワーデバイスの高電流ドーピングのためのアルミスパッタリングソースの性能
- パワーデバイス用のピュリオンXEmaxのエネルギッシュおよび表面金属の特性を、蒸気相分解誘導結合プラズマ質量分析法を使用してブースト技術の有無で比較
- 高エネルギーH+ビームの放射特性および緩和
- 長い静電チャック寿命と安定したパフォーマンスのための耐摩耗性表面コーティング
- 自己完結型予測システム診断センサー
- 非常に高エネルギーイムプラントのヒ素およびアンチモンドーパント分布プロファイルの比較
- イオン注入と熱処理の共同最適化によるワイドバンドギャップ材料の新たな課題と機会
- Axcelisの高エネルギーインプランタにおけるデュアルカソードイオンソース
- 低金属イオンソース
アクセリステクノロジーズの社長兼CEO、ラッセル・ローは「イオン注入業界で最も重要なテクノロジーフォーラムであるIIT 2024のプラチナスポンサーであることを大変嬉しく思っています。特に今年は日本でのイベントに参加できることを非常に喜んでいます。日本はアクセリスにとって非常に重要な市場です。アクセリスは最近、拡大する顧客基盤をサポートするために日本にいくつかの新しいサービスセンターを開設しました。お客様の成功を保証するために、最も革新的なインプラント技術とサポートソリューションを提供することにより、世界市場でのシェア拡大に注力し続けています。」と述べました。
イベントの詳細情報や登録については、会議のウェブサイトをご覧ください。
Axcelisについて：
アクセリス（Nasdaq：ACLS）は、本社をマサチューセッツ州ビバリーに置き、半導体業界向けの革新的かつ高生産性のソリューションを45年以上にわたり提供しています。アクセリスは、IC製造プロセスで最も重要であり、有効化するステップの1つであるイオン注入システムの設計、製造、および完全なライフサイクルサポートを通じて、有効化プロセスアプリケーションの開発に注力しています。Axcelisについてもっと詳しく知るには、をご覧ください。
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出典：Axcelis Technologies、Inc。