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晶盛机电(300316.SZ):目前公司半导体ALD设备处于验证阶段

晶盛機電(300316.SZ):目前公司半導體ALD設備處於驗證階段

格隆匯 ·  09/06 03:32

格隆匯9月6日丨晶盛機電(300316.SZ)在投資者互動平台表示,公司在先進製程領域開發了8-12英寸減壓硅外延設備、LPCVD以及ALD等設備,目前公司半導體ALD設備處於驗證階段。從市場空間看,根據Maximize Market Research數據統計,全球半導體薄膜沉積設備市場規模從2017年的125億美元提升至2020年的172億美元,期間CAGR爲11.2%。從細分產品結構來看,預計2025年國內PECVD、PVD、ALD設備的市場規模分別將達到46、29、18億美元。ALD技術相較於CVD技術和PVD技術,產業化應用起步時間較晚,但由於在先進製程節點下,原來用於成熟製程的濺射PVD、PECVD等工藝無法滿足部分工序要求,因此需要引入ALD工藝。ALD設備憑藉優良的膜厚精度控制、高覆蓋率等特性,未來在先進存儲、邏輯等領域滲透率有望逐步提升。

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