附件32.1

根据《美国法典第1350条》的规定，行政总裁作证。

根据采用的方法，

2002年Sarbanes-Oxley法案第906条的规定：

我，Michael P. Plisinski，根据《美国法典》第1350节，及根据2002年《萨班斯-豪利法案》第906节的规定，特此声明：截至2024年9月28日止的Onto Innovation Inc.在10-Q表格上的季度报告充分符合1934年证券交易法第13(a)或第15(d)节的要求，并且在10-Q表格上的季度报告中包含的信息，以所有财务状况和运营结果方面，均公正地呈现了Onto Innovation Inc.的情况。

日期：2024年10月31日