附件32.1

根據《美國法典第1350條》的規定，行政總裁作證。

根據採用的方法，

2002年Sarbanes-Oxley法案第906條的規定：

我，Michael P. Plisinski，根據《美國法典》第1350節，及根據2002年《薩班斯-豪利法案》第906節的規定，特此聲明：截至2024年9月28日止的Onto Innovation Inc.在10-Q表格上的季度報告充分符合1934年證券交易法第13(a)或第15(d)節的要求，並且在10-Q表格上的季度報告中包含的信息，以所有財務狀況和運營結果方面，均公正地呈現了Onto Innovation Inc.的情況。

日期：2024年10月31日