EX-10.5

这是与雇佣协议的修正案第1号（这个“修正案编号1），由亚利桑那州公司Amtech Systems, Inc.（“公司”）和Robert C. Daigle（“执行官”）签署，并自2024年2月29日生效（“首次修正案生效日期”).

鉴于，公司与高管于2023年8月14日签署了一份雇佣协议（该协议可能不时修订，称为“雇佣协议”).

鉴于公司和高管已共同同意通过用为期5年的外部期权授予替代高管未来获得RSU授予的权利，并取消高管参与高管奖金计划的权利，如本修正案第1号所述。

因此，考虑到前提和本修正案第1号中规定的相互契约，各方同意如下：

1. 定义。除非本修正案第1号中另有明确说明，否则本修正案第1号中使用的所有术语，其定义应与《雇佣协议》中赋予它们的含义相同。

2. 对雇佣协议的修正。对《雇佣协议》作出的以下修订自首次修订生效日期起生效。

(a) 第2(b)节《雇佣协议》的以下内容在此被删除并替换为以下内容：

(b) 第3(e)条《雇佣协议》的以下内容在此被全面修订和重述为：

“(e) 2024年期权授予。在董事会批准的情况下，公司将授予高管购买400,000股普通股的期权（“2024年期权授予在首次修订生效日，2024年期权授予的行使价格将为每股6.00美元。2024年期权授予将受EIP下授予的股票期权适用的条款和条件以及首席执行官和公司将签署的适用奖励协议的约束，该协议应实质上以附在本修正案第1号的形式附上。2024年期权授予的归属情况如下： (i) 133,333股将于2024年8月8日归属并可行使，(ii) 133,333股将于2025年2月8日归属并可行使，(iii) 剩余的133,334股将于2025年8月8日归属并可行使，前提是执行官继续为公司提供服务，如适用奖励协议所述。

4. 适用法律本修正案第1号及其有效性、解释、执行和执行相关的所有问题，应受亚利桑那州法律的管辖并据此解释，不论亚利桑那州或其他地区的利益冲突条款有何相悖。与本修正案第1号有关的任何行动应仅在亚利桑那州马里科帕县具有管辖权的法院提起，每一方在法律允许的最大范围内，在此不可撤回地放弃其目前或将来可能对在此类法院提起诉讼的地点提出的任何异议，并服从该等法院的管辖权。各方（通过对此的接受）在此明知、不可撤回、自愿并故意放弃各自在本修正案第1号提出的任何争议中对陪审团审判的权利。

5. 分开执行本修正案第1号可通过任意数量的副本签署，每一份均应视为对任何在上面签名的各方的原件，所有副本应共同构成一份相同的文书。本修正案第1号在一份或多份副本单独或共同签署后，即成为具有约束力。

6. 完整协议除本文所述外，本修正案第1号和雇佣协议共同包含了当事方之间有关本协议标的的全部理解，并取代所有先前和同时期的协议和理解、诱因和条件，无论是明示还是暗示、口头还是书面，均不再具有任何效力。这里的明确条款控制并取代任何与此条款不一致的执行过程和/或交易习惯。本修正案第1号不得修改或变更，除非由高管和具有实际权力的公司授权代表签署的书面协议。

7. 控制文档如果公司与高管之间的任何协议、计划、方案、政策、安排或其他书面文件的任何条款与本修正案第1号的任何条款发生冲突，则本修正案第1号的条款应予以控制和优先。

8. 节标题本修正案第1号中的节标题仅为方便而设；它们不构成本修正案第1号的一部分，也不影响其解释。

9. 继承人和受让人。本修正案第1号应使当事人的继承人和受让人受益并对其具有约束力；前提是高管在此的义务涉及个性化服务的履行，故此类义务不得由高管转让。就本修正案第1号而言，继承人和受让人应包括但不限于通过销售、合并、整合、清算或其他转让形式获得公司大多数股票或资产的任何个人、公司、信托、合伙企业或其他实体。公司将要求任何继承人（无论是直接或间接的，通过购买、合并、整合或其他方式）明确承担并同意执行本修正案第1号。

10. 生存条款。根据本协议各方的各自权利和义务在执行者的雇佣关系终止后仍然有效，包括但不限于公司在本修正案第1条下的义务，以及执行者在雇佣协议第4条下的义务，以及任期的结束，在必要的范围内保留这些权利和义务。

11. 咨询律师的权利；无起草方。执行者承认已仔细阅读并考虑本修正案第1条的所有条款，并有机会咨询执行者自行选择的律师，基于此，执行者同意此处创建的义务并不不合理。执行者承认，执行者有机会谈判所有这些条款，并且不应采用任何解释规则来根据哪个方起草本修正案第1条来有利或不利于某一方。

12. 其他. 所有对雇佣协议的引用，无论是在此处还是其他地方，都应指本修正案第1条修订和修改后的雇佣协议，及其可能进一步修订、修改、延长、续期、补充及/或不时重述的任何时间。除非本协议中另有明确规定，否则雇佣协议的所有条款和规定（按本修正案第1条修订和修改）仍然有效，并对各方及其各自的继承人和允许的受让人完全具有约束力。

[修改第1号的签名页]