EX-21.1 5 asys-ex21_1.htm EX-21.1 EX-21.1

 

展览21.1

Amtech Systems公司及其子公司

注册人的子公司

 

姓名

 

注册所在的司法管辖区

爱文思控股复合材料公司

 

特拉华州

 

 

 

布鲁斯科技公司

 

马萨诸塞州

 

 

 

BTU 欧洲有限公司

 

英国

 

 

 

BTU 国际公司

 

特拉华州

 

 

 

BTU 有限公司(上海)

 

中国

 

 

 

BTU 境外有限公司。

 

特拉华州

 

 

 

BTU 境外(上海)有限公司。

 

中国

 

 

 

Entrepix, Inc.

 

亚利桑那州

 

 

 

Entrepix 亚洲有限公司。

 

新加坡

 

 

 

Entrepix International, Inc.

 

亚利桑那州

 

 

 

Intersurface Dynamics, Inc.

 

康涅狄格州

 

 

 

P.R. Hoffman Machine Products, Inc.

 

亚利桑那州