附件23.1

独立注册公共会计事务所的同意书

我们同意在注册声明（编号：333-263875，333-204431，333-196940，333-196937，333-131051，333-145454，333-09911，333-168606，333-168607）中引用。 在S-8表格中引用我们于2024年12月12日的报告，关于Amtech Systems, Inc.及其子公司的合并基本报表，以及对财务报告内部控制的有效性。